凈化車間里高效過濾器作用
凈化車間里高效過濾器作用
凈化車間里高效過濾器作用:凈化化車間高效過濾器是凈化車間的最主要的末級過濾器,它必須在粗、中效過濾器的保護下使用,高效過濾器主要有玻璃纖維濾紙、石棉纖維濾紙和合成纖維濾紙3大類,主要用于過濾小于1um的塵粒,應根據空氣含塵濃度、空氣中各種污染物濃度和產品工藝特點及要求配置和選用各種空氣過濾器 當無工藝要求時,一般都按照凈化車間潔凈度等級配置。對于6級和6級以上的凈化車間的空氣潔凈系統通常采用三級空氣過濾,即設置粗效、中效和高效過濾器。中效和高效過濾器一般設在正壓段。對于5級和5級以下的潔凈室的空氣潔凈系統中空氣過濾器的配置應根據潔凈室的總體設計方案和采用的凈化空調系統的要求配置各種過濾器。例如,潔凈度等級為4級的集成電路生產潔凈室,為了去除大氣中的微粒和各種污染物.通常新風集中處理,并在新風處理裝置中裝設粗效、中效(中高效)、亞高效甚至高效過濾器和化學過濾器或水噴淋裝置;在潔凈室的循環風系統還設有高效、超高效和化學過濾等
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